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Nanolitografia

Por: Manzoli, Alexandra

Superfície de um CD “desenhada” com a ponta do microscópio de força atômica. Nanolitografia em uma área de 5x5 micrômetros.

Unidade: Embrapa Instrumentação

Data de publicação: 15/02/2017

Palavras-chave: nanolitografia, Nanotecnologia, Microscópio de força atômica